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22033 四氟甲烷 tetrafluoromethane;carbontetrafluoride
2011-02-17 12:11:33  by:易物流-做最专业的建材物流交易平台 www.e6w6.com

1.物质的理化常数:

国标编号22033
CAS号75-73-0
中文名称四氟甲烷
英文名称tetrafluoromethane;carbontetrafluoride
别名R14;四氟化碳
分子式CF4外观与性状无色无臭气体
分子量88.01蒸汽压13.33kPa(15.07℃)
熔点-183.6℃沸点:-128.0℃溶解性不溶于水
密度相对密度(水=1)1.61(-130℃)稳定性稳定
危险标记5(不燃气体)主要用途用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术

2.对环境的影响:

一、健康危害

侵入途径:吸入。
健康危害:能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。

二、毒理学资料及环境行为

毒性:属低毒类。
急性毒性:大鼠吸入90%(充氧)×15分钟,近似致死浓度;大鼠吸入895000ppm×15分钟,最小致死浓度
危险特性:不燃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物:氟化氢。

3.现场应急监测方法:

 

4.实验室监测方法:

气相色谱法

5.环境标准:

 

6.应急处理处置方法:

一、泄漏应急处理

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。

二、防护措施

呼吸系统防护:一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护:一般不需特殊防护。
身体防护:穿一般作业工作服。
手防护:戴一般作业防护手套。
其它:避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。

三、急救措施

吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

灭火方法:本品不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。


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